一种数字微镜器件的倾斜扫描时的工作方法

摘要：

本发明公开了一种数字微镜器件倾斜扫描时的工作方法，现有技术中待扫描区域被微镜单元细分为一定间距的扫描条带，间距的大小等于等于相邻微镜单元的中心间距。本发明提供一种数字微镜器件的倾斜扫描方法，一种数字微镜器件的倾斜扫描方法，所述的数字微镜器件在对感光材料件进行扫描曝光时，其扫描方向与数字微镜器件上微镜阵列的行方向或列方向成一定夹角；这个夹角会使数字微镜器件的微镜单元在感光材料件上的扫描轨迹更加密集，在扫描曝光时，可以在不降低扫描速度的情况下，加工出线条的精细结构。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201611267980.7

申请日期：2016-12-31

公开/公告号：CN106773543A

公开/公告日：2017-05-31

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:俞庆平

发明/设计人:俞庆平;高明;陈修涛;董辉

主申请人地址:安徽省合肥市蜀山区莲花路1278号10栋502室

国别省市代码:安徽;34

权利要求：

一种数字微镜器件倾斜扫描时的工作方法，其特征在于：所述的数字微镜器件在对感光材料件进行扫描曝光时，其扫描方向与数字微镜器件上微镜阵列的行方向或列方向成一定夹角；这个夹角会使数字微镜器件的微镜单元在感光材料件上的扫描轨迹更加密集。