光致抗蚀剂组合物

摘要：

本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂：其中，R¹表示氢原子、卤原子、或任选具有卤原子的C1至C6烷基，且R²表示任选具有取代基的C1至C42烃基；碱溶性树脂；酸生成剂；和溶剂。<img file="DDA0001171996970000011.TIF" wi="450" he="502" />

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201611114494.1

申请日期：2016-12-06

公开/公告号：CN106918990A

公开/公告日：2017-07-04

主分类号：G03F7/004(2006.01)I

申请/专利权人:住友化学株式会社

发明/设计人:杉原昌子;西村崇;坂本宏

主申请人地址:日本国东京都

专利代理机构:中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人:李新红

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：具有由式(I)表示的结构单元的树脂：<img file="FDA0001171996950000011.TIF" wi="446" he="490" />其中，R¹表示氢原子、卤原子、或任选具有卤原子的C1至C6烷基，且R²表示任选具有取代基的C1至C42烃基；碱溶性树脂；酸生成剂；和溶剂。