一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统

摘要：

本发明涉及一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法及系统，其方法包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。本发明可以定期监控，及时地监控洗边机台的光阻洗边精度的变化，及时发现问题，减少良率损失；同时可以避免采用游标卡尺认为测量造成的误差，提高测量光阻洗边的测量精度。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201611079480.0

申请日期：2016-11-30

公开/公告号：CN106556976A

公开/公告日：2017-04-05

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:武汉新芯集成电路制造有限公司

发明/设计人:李碧峰

主申请人地址:430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

专利代理机构:北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人:杨立%李蕾

国别省市代码:湖北;42

权利要求：

一种基于量测光阻膜厚监控光阻洗边精度的方法，其特征在于：包括以下步骤,S1，洗边机台按照预设的洗边对涂有光阻的控片进行光阻洗边；S2，在膜厚机台上对预设的洗边设定一个规格范围,并根据设定的规格范围建立多个膜厚测量点，并根据多个膜厚测量点对光阻洗边后的控片的对应位置分别进行光阻膜厚量测，输出多个膜厚测量点的位置信息；S3，将输出的多个膜厚测量点的位置信息与设定的规格范围进行对比，确定洗边机台的光阻洗边精度。