感光性树脂组合物

摘要：

本发明的目的在于提供感光性树脂组合物，其不损坏电绝缘性等基本特性，即使是利用直描装置进行曝光，也能与一次性曝光同样地得到直至涂膜内部都具有光固化性的良好灵敏度，并防止固化物的线形状变差，得到优异的分辨率。所述感光性树脂组合物含有(A)含羧基感光性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)环氧化合物和(D)着色剂，所述(B)光聚合引发剂为由下述通式表示的化合物，式中，R₁表示氢、碳原子数1～17的烷基或碳原子数1～17的烷氧基，R₂表示苯基、或被选自碳原子数1～5的烷基、‑O‑C_mH_2m‑CH₃及‑O‑C_nH_2n‑O‑C_pH_2p‑CH₃中的至少1个取代基取代的苯基，m表示0或1～5的整数，n表示1～5的整数，p表示0或1～5的整数。<img file="DDA0001162438960000011.TIF" wi="977" he="555" />

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201611055325.5

申请日期：2016-11-25

公开/公告号：CN106814539A

公开/公告日：2017-06-09

主分类号：G03F7/004(2006.01)I

申请/专利权人:株式会社田村制作所

发明/设计人:斋藤隆英;长谷川靖幸;石坂将畅;冈本吉生

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418

代理人:郭红丽%常殿国

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有(A)含羧基感光性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)环氧化合物和(D)着色剂，所述(B)光聚合引发剂为由下述通式表示的化合物，<img file="FDA0001162438940000011.TIF" wi="1020" he="580" />式中，R₁表示氢、碳原子数1～17的烷基或碳原子数1～17的烷氧基，R₂表示苯基、或被选自碳原子数1～5的烷基、‑O‑C_mH_2m‑CH₃及‑O‑C_nH_2n‑O‑C_pH_2p‑CH₃中的至少1个取代基取代的苯基，m表示0或1～5的整数，n表示1～5的整数，p表示0或1～5的整数。