具有药剂回收系统的光刻胶涂布机

摘要：

本发明是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀??气动阀结构连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。优点：增加回收系统，提高药剂使用率，节省材料消耗，节省费用，降低公司成本。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201611016640.7

申请日期：2016-11-18

公开/公告号：CN106406031A

公开/公告日：2017-02-15

主分类号：G03F7/16(2006.01)I

申请/专利权人:南京中电熊猫液晶材料科技有限公司

发明/设计人:徐飞;彭建中;李亚明;高广修;吴昌龙;张良

主申请人地址:210033 江苏省南京市栖霞区仙林大道科技南路南京液晶谷

专利代理机构:南京君陶专利商标代理有限公司 32215

代理人:沈根水

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。