快速外延片曝光装置

摘要：

本发明公开了一种快速外延片曝光装置，包括影像定准器，影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接，影像定准器底部位于一操作平台上，影像定准器与操作平台之间铰接，操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台，云台与操作平台之间固定连接，两云台之间连接有耗能板，耗能板不止一个，耗能板上设有导轨。本快速外延片曝光装置提高了设备的制动化和智能化程度，使得安全系数大幅度提高，提高了曝光精度，使其线条更加均匀，同时延长了曝光设备的使用寿命，具有良好的调节性，调试简单，方便操作。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201611010335.7

申请日期：2016-11-17

公开/公告号：CN106647143A

公开/公告日：2017-05-10

主分类号：G03B27/54(2006.01)I

申请/专利权人:东莞唯度电子科技服务有限公司

发明/设计人:姚海林

主申请人地址:523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路创投大厦112B

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种快速外延片曝光装置，包括影像定准器，其特征在于：影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接，影像定准器底部位于一操作平台上，影像定准器与操作平台之间铰接，操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台，云台与操作平台之间固定连接，两云台之间连接有耗能板，耗能板不止一个，耗能板上设有导轨，导轨竖向设置在耗能板上，导轨顶部位于操作平台上，导轨为两个，两导轨之间设有光源，光源固定在两导轨之间，光源上设有激光器；所述激光器为两个圆形反射板，且两圆形反射板竖向排列在光源上。