一种新型的UVLED曝光光源均匀性实时测试系统

摘要：

本申请公开了一种新型的UVLED曝光光源均匀性实时测试系统，包括多个PIN光电探测及信号处理模块、高精度A/D采集模块、中心控制及数据处理模块和显示模块，每个PIN光电探测及信号处理模块分别独立封装，高精度A/D采集模块、中心控制及数据处理模块和显示模块集成于同一电路板上，PIN光电探测及信号处理模块与高精度A/D采集模块之间可拆卸连接，多个PIN光电探测及信号处理模块用以获取曝光面在同一时刻不同定点处的照度，中心控制及数据处理模块连接于高精度A/D采集模块和显示模块之间。本发明采用多个探头模组，自动快速探测曝光面照度，并实时计算和显示光照面的均匀性，具有均匀度测试计算简单、快速、便捷、准确、便于仪器均匀性调节、便于携带等优点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610956379.2

申请日期：2016-10-28

公开/公告号：CN107037693A

公开/公告日：2017-08-11

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:张家港奇点光电科技有限公司

发明/设计人:谭艾英;杨若夫;孙秀辉;蔡文涛;陈建军;尹韶云

主申请人地址:215600 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路科创园张家港奇点光电科技有限公司

专利代理机构:苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304

代理人:汤婷

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种新型的UVLED曝光光源均匀性实时测试系统，其特征在于，包括多个PIN光电探测及信号处理模块、高精度A/D采集模块、中心控制及数据处理模块和显示模块，每个所述PIN光电探测及信号处理模块分别独立封装，所述高精度A/D采集模块、中心控制及数据处理模块和显示模块集成于同一电路板上，所述PIN光电探测及信号处理模块与高精度A/D采集模块之间可拆卸连接，多个PIN光电探测及信号处理模块用以获取曝光面在同一时刻不同定点处的照度，所述中心控制及数据处理模块连接于所述高精度A/D采集模块和显示模块之间。