一种掩膜版固定系统

摘要：

本发明提供了一种掩膜版固定系统，具有固定组件和运动组件，运动组件安装于固定组件上，并且可以沿着固定组件的导向方向进行移动；运动组件还具有两两相对设置的机械手，相对的两个机械手用于固定掩膜版相对的边缘。本发明可以控制掩模版部分区的形变，提高晶圆上层间套刻精度，最终提高产品良率。与现有的方法相比，不需要为每个产品建立数据库进行仿真，通用性强，成本低。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610901000.8

申请日期：2016-10-17

公开/公告号：CN106444294A

公开/公告日：2017-02-22

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海华力微电子有限公司

发明/设计人:祖延雷;于世瑞;陈权

主申请人地址:201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

专利代理机构:上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人:吴世华%陈慧弘

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种掩膜版固定系统，具有固定组件和运动组件，运动组件安装于固定组件上，并且可以沿着固定组件的导向方向进行移动；其特征在于，所述运动组件还具有两两相对设置的机械手，相对的两个机械手用于固定掩膜版相对的边缘。