EUV用防尘薄膜组件

摘要：

防止由于EUV曝光而使防尘膜升温而产生的防尘膜的变形以及破损，脱落。本发明的内容为在防尘薄膜组件的接着层中配合热传导性充填剂。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610896178.8

申请日期：2016-10-14

公开/公告号：CN106597806A

公开/公告日：2017-04-26

主分类号：G03F1/62(2012.01)I

申请/专利权人:信越化学工业株式会社

发明/设计人:堀越淳

主申请人地址:日本东京都

专利代理机构:北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280

代理人:郭广迅

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种EUV用防尘薄膜组件，至少具有防尘膜，所述防尘膜在一方的端面上通过接着层贴附的防尘薄膜组件框架，所述防尘薄膜组件框架的另一方的端面上设置的粘着层，其特征在于，所述接着层为对接着剂100质量份添加热传导性充填剂100～4，000质量份的接着剂组合物的EUV用防尘薄膜组件。