光掩模坯

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610791249.8

申请日期：2016-08-31

公开/公告号：CN106502043A

公开/公告日：2017-03-15

主分类号：G03F1/50(2012.01)I

申请/专利权人:信越化学工业株式会社

发明/设计人:笹本纮平;稻月判臣

主申请人地址:日本东京

专利代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人:何杨

国别省市代码:日本;JP