工件曝光方法、曝光设备及其置件机构

摘要：

一种工件曝光方法、曝光设备及其置件机构。所述曝光设备包括工作腔室、位于工作腔室外侧的置件区域、设置于工作腔室内的位置对准装置与曝光装置、分别设置于工作腔室与置件区域的两个第一台框、及分别设置于工作腔室与置件区域的两个第二台框。任一个第一台框可移动地与另一个第一台框进行位置交换，并且任一个第二台框可移动地与另一个第二台框进行位置交换。位于工作腔室内的所述第一台框及第二台框能通过位置对准装置，而进行与曝光装置间的对位。藉此，提供一种具备较佳作业效率的曝光设备。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610460244.7

申请日期：2016-06-22

公开/公告号：CN107450275A

公开/公告日：2017-12-08

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:志圣工业股份有限公司

发明/设计人:张永裕

主申请人地址:中国台湾

专利代理机构:北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人:梁丽超%陈鹏

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

一种工件曝光方法，其特征在于，所述工件曝光方法包括：置放待曝光的一第一工件于一第一台框上；移动所述第一台框，接着以一位置对准装置进行所述第一台框与一曝光装置间的对位作业，其后，所述曝光装置对所述第一台框上的待曝光的所述第一工件进行曝光作业；在所述第一台框及待曝光的所述第一工件进行所述对位作业与所述曝光作业的至少其中一个作业过程中，置放待曝光的一第二工件于一第二台框；以及移动所述第二台框，接着以所述位置对准装置进行所述第二台框与所述曝光装置间的对位作业，其后，所述曝光装置对所述第二台框上的待曝光的所述第二工件进行曝光作业；在所述第二台框及待曝光的所述第二工件进行所述对位作业与所述曝光作业的至少其中一个作业过程中，置放待曝光的另一第一工件于另一第一台框上，接着移动交换所述第一台框及所述另一第一台框的位置。