双叶门快门装置、光刻机曝光系统及光刻机

摘要：

本发明提供了一种双叶门快门装置，包括主动旋转轴、被动旋转轴、第一曲柄摇杆组件、第二曲柄摇杆组件、第一叶片和第二叶片，所述第一叶片经所述第一曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述第二叶片经所述第二曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述主动旋转轴和被动旋转轴的轴心互相平行；所述第一叶片和第二叶片随着所述主动旋转轴的旋转分别沿顺时针和逆时针绕所述被动旋转轴做同幅度旋转，从而实现所述第一叶片与第二叶片的接合与打开。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610379187.X

申请日期：2016-05-31

公开/公告号：CN107450273A

公开/公告日：2017-12-08

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备（集团）股份有限公司

发明/设计人:张辉

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种双叶门快门装置，其特征在于：包括主动旋转轴、被动旋转轴、第一曲柄摇杆组件、第二曲柄摇杆组件、第一叶片和第二叶片，所述第一叶片经所述第一曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述第二叶片经所述第二曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述主动旋转轴和被动旋转轴的轴心互相平行；所述第一叶片和第二叶片随着所述主动旋转轴的旋转分别沿顺时针和逆时针绕所述被动旋转轴做同幅度旋转，从而实现所述第一叶片与第二叶片的接合与打开。