一种棱镜旋转调节机构和光刻机曝光系统及光刻机
本发明公开了一种棱镜旋转调节机构和光刻机曝光系统及光刻机,其中,棱镜旋转调节机构,包括框架、柔性机构及驱动机构,所述柔性机构包括依次柔性铰接的固定件、驱动件、连接件及摇动件,所述固定件固定在框架上,所述驱动机构与所述框架固接,并与所述驱动件连接,所述摇动件上固定有棱镜,所述摇动件与所述固定件的铰接轴为所述棱镜的旋转中心。本发明采用柔性机构构成四边形柔性铰链结构,通过驱动机构直线驱动驱动件,将直线运动转化为旋转运动,使旋转运动的控制更精确,提高了棱镜的旋转控制精度,同时,棱镜的旋转中心为摇动件与固定件的铰接轴,保证了旋转中心位置的稳定,避免在旋转调节过程中发生窜扰,进一步提高棱镜的旋转控制精度。
发明专利
CN201610173887.3
2016-03-24
CN106933060A
2017-07-07
G03F7/20(2006.01)I
上海微电子装备有限公司
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201203 上海市浦东新区张东路1525号
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
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一种棱镜旋转调节机构,其特征在于,包括框架、柔性机构及驱动机构,所述柔性机构包括依次柔性铰接的固定件、驱动件、连接件及摇动件,所述固定件固定在框架上,所述驱动机构与所述框架固接,并与所述驱动件连接,所述摇动件上固定有棱镜,所述摇动件与所述固定件的铰接轴为所述棱镜的旋转中心。