一种浸液限制机构及温度补偿方法

摘要：

本发明公开了一种浸液限制机构及温度补偿方法，该浸液限制机构包括浸没头，浸没头上由外到内依次设有供气腔和气液回收腔，供气腔与第一供气设备连通，用于形成对浸液密封的气帘，气液回收腔包括由内至外同轴设置的内腔体和外腔体，内腔体通过抽排管与气液回收设备连通，用于抽排气液混合物，外腔体通过进气管与第二供气设备连通，第二供气设备提供的气体与内腔体外壁、外腔体内壁接触后冷凝放热。本发明通过在外腔体内通入冷凝气体对内腔体进行可全面的热补偿，且直接在内层壁上进行热补偿，减小了热阻，增大了热补偿面积，提高了效率；同时外腔体将内腔体与其他部位进行了热隔离，降低了制冷“冷源”作用在其余部位上的制冷功率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610113097.6

申请日期：2016-02-29

公开/公告号：CN107168015A

公开/公告日：2017-09-15

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备（集团）股份有限公司

发明/设计人:赵丹平

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种浸液限制机构，设于投影物镜和基底之间，包括浸没头，所述浸没头上由外到内依次设有供气腔和气液回收腔，所述供气腔与第一供气设备连通，用于形成对所述浸液密封的气帘，其特征在于，所述气液回收腔包括由内至外同轴设置的内腔体和外腔体，所述内腔体通过抽排管与气液回收设备连通，用于抽排气液混合物，所述外腔体通过进气管与第二供气设备连通，所述第二供气设备提供的气体与所述内腔体外壁、外腔体内壁接触后冷凝放热。