具彩色光阻图案的装置及其制作方法

摘要：

本发明公开了一种具彩色光阻图案的装置及其制作方法，该具彩色光阻图案的装置包含：一基材、至少两层彩色光阻层。其中，至少两层彩色光阻层形成于基材上，此至少两层彩色光阻层共同构成一图案，且图案可视。本发明的具彩色光阻图案的装置及其制作方法，可解决传统技术的加工速度慢、材料成本高、无法兼具线路分辨率高的状况，达到加工成本低、加速速度快、材料成本低、线路分辨率高等综合技术功效。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201610037182.9

申请日期：2016-01-20

公开/公告号：CN106353966A

公开/公告日：2017-01-25

主分类号：G03F1/60(2012.01)I

申请/专利权人:许铭案%林文福

发明/设计人:许铭案;林文福

主申请人地址:中国台湾苗栗县头份镇中华路442-1号

专利代理机构:北京汇泽知识产权代理有限公司 11228

代理人:张秋越

国别省市代码:台湾;71

权利要求：

一种具彩色光阻图案的装置，其特征在于，包含：一基材；及至少两层彩色光阻层，形成于该基材上；其中，该至少两层彩色光阻层共同构成一图案，该图案可视。