LED制造用光罩板

摘要：

本申请公开了一种LED制造用光罩板，包括：晶圆曝光部及非晶圆曝光部，于所述非晶圆曝光部上设置有用于在不同光罩板之间进行区分的荧光标记。这样，在黄光制程中，荧光标记由于其独特的光显特性，可清楚明确地提醒操作人员其所拿取的光罩板正确与否，从而大大降低错版情况发生的几率。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201590000167.6

申请日期：2015-10-02

公开/公告号：CN205539916U

公开/公告日：2016-08-31

主分类号：G03F1/38(2012.01)I

申请/专利权人:魏晓敏

发明/设计人:魏晓敏

主申请人地址:518000 广东省深圳市福田区莲花北23栋705

国别省市代码:广东;44

权利要求：

一种LED制造用光罩板，包括：晶圆曝光部及非晶圆曝光部，其特征在于，于所述非晶圆曝光部上设置有用于在不同光罩板之间进行区分的荧光标记。