对准系统的反馈控制系统

摘要：

讨论了一种在照射中心波长上具有长期稳定性的对准系统。对准系统包括可调谐辐射源和反馈控制系统。可调谐辐射源包括被配置成提供宽带辐射束的光源和被配置成将宽带辐射束滤波成具有中心波长值的窄带辐射束的可调谐多通带滤波器。反馈控制系统被配置成测量窄带辐射束的中心波长值并将测得的中心波长值与期望的中心波长值进行比较。反馈控制系统被进一步配置成基于响应于测得的中心波长值与期望的中心波长值之间存在的差值的比较生成控制信号和基于控制信号调谐可调谐滤波器以消除或实质上减小差值。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201580071500.7

申请日期：2015-11-26

公开/公告号：CN107111255A

公开/公告日：2017-08-29

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:ASML控股股份有限公司

发明/设计人:陈涛;梁敬培;K·J·维奥莱特

主申请人地址:荷兰维德霍温

专利代理机构:北京市金杜律师事务所 11256

代理人:王茂华%吕世磊

国别省市代码:荷兰;NL

权利要求：

一种对准系统，包括：可调谐辐射源，包括：光源，被配置成提供宽带辐射束，以及可调谐滤波器，被配置成将所述宽带辐射束滤波成包括中心波长(CWL)值的窄带辐射束；以及反馈控制系统，被配置成：测量所述窄带辐射束的所述CWL值；将测得的CWL值与期望的CWL值进行比较；基于响应于所述测得的CWL值与所述期望的CWL值之间存在的差值的所述比较生成控制信号；以及基于所述控制信号调谐所述可调谐滤波器以消除或实质上减小所述差值。