图案形成方法和制造物品的方法

摘要：

本发明提供通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在基板上形成多个图案层的图案形成方法，所述方法包括：第一步骤，基于通过对由采用全局对准方法的光刻装置在基板上形成的多个标记使用逐个管芯对准方法获得的对准信息，通过采用逐个管芯对准方法的第一光刻装置形成第一图案层；以及第二步骤，基于通过对由第一光刻装置在第一步骤中在基板上形成的多个压射区域使用全局对准方法获得的对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠(S3)。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201580052047.5

申请日期：2015-09-11

公开/公告号：CN106716258A

公开/公告日：2017-05-24

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:佳能株式会社

发明/设计人:坂本英治;江本圭司;渡边丰

主申请人地址:日本东京

专利代理机构:中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人:宋岩

国别省市代码:日本;JP

权利要求：

一种通过使用包括第一光刻装置和第二光刻装置的多个光刻装置在基板上形成多个图案层的图案形成方法，所述方法包括：第一步骤，基于通过对由采用全局对准方法的光刻装置在基板上形成的多个标记使用逐个管芯对准方法获得的对准信息，通过采用逐个管芯对准方法的第一光刻装置形成第一图案层；以及第二步骤，基于通过对由第一光刻装置在第一步骤中在基板上形成的多个压射区域使用全局对准方法获得的对准信息，通过第二光刻装置形成第二图案层以与第一图案层重叠。