一种光刻机光源

摘要：

本实用新型公开了一种光刻机光源，该光刻机光源包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。本实用新型的光刻机光源光强度高、热量小、寿命长、功率小仅有现有技术的10%、环保无污染、使用寿命长、报废少，提高效率200%，曝光时间短，曝光后线条整齐，能够有效减少热源解决粘片现象。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201520880906.7

申请日期：2015-11-09

公开/公告号：CN205210510U

公开/公告日：2016-05-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:济南卓微电子有限公司

发明/设计人:孙者利;张运

主申请人地址:250200 山东省济南市章丘明水绣源路中段

国别省市代码:山东;37

权利要求：

一种光刻机光源，其特征在于，包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。