一种低成本曝光机晒架

摘要：

<b />一种低成本曝光机晒架，涉及到曝光机技术领域。解决现有曝光机晒架结构复杂，加工制造成本高，容易出现微小缝隙，从而无法完成抽真空甚至整个晒架报废的问题，包括有铰接的上层晒架与下层晒架，上下层晒架之间设有气弹簧，使上层晒架与下层晒架能活动的打开与闭合，上层晒架由上玻璃，四根固定在上玻璃顶面四个角落的弹簧和上框架组成，下层晒架由下框架与固定在下框架中心的下玻璃组成，上下层晒架闭合后，上层晒架上的弹簧提供的弹力，会使上玻璃紧压下玻璃，此时上下玻璃为稳定夹紧状态，本实用新型使用机械式夹紧方式代替了抽真空夹紧，避免了抽真空失效或者漏气的情况，能保证在曝光过程中，底片与镀铜板在晒架内的位置保持不变，且使晒架的加工制造成本大大降低，零件替换以及维修更加方便，操作更加简洁。<b />

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201520802306.9

申请日期：2015-10-19

公开/公告号：CN205121157U

公开/公告日：2016-03-30

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:西华大学

发明/设计人:周延;蔡长韬;杨韬;古小平;马小茜

主申请人地址:610039 四川省成都市金牛区土桥金州路999号

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种低成本曝光机晒架，其特征在于：包括有铰链连接的上层晒架与下层晒架，上下层晒架之间设有气弹簧，使上层晒架与下层晒架能活动的打开与闭合，上层晒架由上玻璃，四根固定在上玻璃顶面四个角落的弹簧和上框架组成，下层晒架由下框架与固定在下框架中心的下玻璃组成，上下层晒架闭合后，上下玻璃也对应闭合。