一种热释光退火装置

摘要：

本实用新型涉及一种热释光退火装置，包括：炉体，所述炉体设有炉腔，所述炉腔的开口处设有上盖，其特征在于，所述炉腔内设有两个加热盘，每个所述加热盘上盘绕有若干圈加热丝，所述加热盘中间摄哟转轴，所述转轴能够驱动所述加热盘旋转，所述加热丝电连接负反馈温控电路，所述上盖上设有连通所述炉腔内的测温孔，所述加热盘可拆卸的设置在所述炉腔内。通过负反馈温控电路的控制，可以实现温度的平稳，保证在恒温状态下，炉腔内温度波动较小，使得被退火物实现较好的退火效果；测温孔的设置可以实现人为对炉腔温度的随时监测监控。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201520587206.9

申请日期：2015-08-07

公开/公告号：CN204902586U

公开/公告日：2015-12-23

主分类号：F27B17/00(2006.01)I

申请/专利权人:苏州大学卫生与环境技术研究所

发明/设计人:陆宁;张晓露;沈叶丹;张春娟;杜晟威

主申请人地址:215213 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号304楼

专利代理机构:南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人:董建林

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种热释光退火装置，包括：炉体，所述炉体设有炉腔，所述炉腔的开口处设有上盖，其特征在于，所述炉腔内设有两个加热盘，每个所述加热盘上盘绕有若干圈加热丝，所述加热盘中间<b>设有</b>转轴，所述转轴能够驱动所述加热盘旋转，所述加热丝电连接负反馈温控电路，所述上盖上设有连通所述炉腔内的测温孔，所述加热盘可拆卸的设置在所述炉腔内。