一种坩埚加热器

摘要：

本实用新型揭示了一种坩埚加热器，包括：基板，基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源，坩埚固定装置、加热装置和不锈钢罩壳从内至外设置；加热装置包括固定机构、加热片和空腔，空腔由加热片环绕形成的，加热片通过固定机构固定在基板上，加热片与电源电连接，坩埚固定装置位于空腔的底部；坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆，固定座都通过连接杆固定在所述基板上；固定座和基板之间还设置有至少两层隔热层。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201520155760.X

申请日期：2015-03-19

公开/公告号：CN204555657U

公开/公告日：2015-08-12

主分类号：F27B14/06(2006.01)I

申请/专利权人:上海珅珂光伏新材料有限公司

发明/设计人:谢朝东;李硕

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路351号2号楼A612-02室

专利代理机构:上海翰信知识产权代理事务所(普通合伙) 31270

代理人:张维东

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种坩埚加热器，包括：基板，所述基板上设置有坩埚固定装置、加热装置、不锈钢罩壳和电源，所述坩埚固定装置、所述加热装置和所述不锈钢罩壳从内至外设置；其特征在于：所述加热装置包括固定机构、加热片和空腔，所述空腔由所述加热片环绕形成的，所述加热片通过所述固定机构固定在所述基板上，所述加热片与所述电源电连接，所述坩埚固定装置位于所述空腔的底部；所述坩埚固定装置包括至少两个固定座和连接杆，所述固定座都通过所述连接杆固定在所述基板上；所述固定座和所述基板之间还设置有至少两层隔热层。