一种在线监测补偿掩膜版热变形的装置和方法

摘要：

本发明提供一种在线监测补偿掩膜版热变形的装置和方法，在掩膜台上设置第一电极单元，在掩膜版上设置于第一电极单元极性相反的第二电极单元，第一电极单元与第二电极单元形成电极回路且构成微电容单元，并设置能够监测微电容单元电容值的控制单元，通过测量电容从而计算得到掩膜版变形后与掩膜台之间的距离，并且通过控制单元控制电极回路电压，从而控制掩膜版与掩膜台之间的静电力使得掩膜版向掩膜台运动，减少两者之间的距离从而补偿掩膜版的热变形，这样既可以在线实时监测掩膜版的热变形度也可以实时补偿掩膜版的热变形。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201511032055.1

申请日期：2015-12-31

公开/公告号：CN106933059A

公开/公告日：2017-07-07

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:程蕾丽;朱岳彬

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种在线监测补偿掩膜版热变形的装置，用于对固定和保持在掩膜台上掩膜版进行面型测量和控制，其特征在于，包括：第一电极单元，设置在所述掩膜台上；第二电极单元，设置在所述掩膜版上，所述第一电极单元和第二电极单元极性相反，形成电极回路且构成微电容单元；控制单元，用于通过连接所述第一电极单元和第二电极单元，监测上述微电容单元的电容值变化，并通过控制所述电极回路的电压变化，调控静电力，抑制所述掩膜版的热变形。