拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法

摘要：

本发明提供了一种拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法。所述拼接物镜包括至少一组物镜，所述一组物镜包括相互光路连接的上、下物镜，所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上、下进水管、上、下出水管、循环水控制单元、上、下温度传感器以及至少一个下加热器；所述上、下物镜均设置于水套内，所述上进水管和上出水管设置于上物镜处，所述下进水管和下出水管设置于下物镜处，所述循环水控制单元与上、下进水管、上、下出水管连通，所述上、下温度传感器分别邻近上物镜和下物镜，至少一个所述下加热器设置于下进水管上，以通过加热器加热下进水管中的循环冷却水，从而平衡上、下物镜的温度，保证温度控制的整个均匀性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201511031916.4

申请日期：2015-12-31

公开/公告号：CN106933057A

公开/公告日：2017-07-07

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:罗兵

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种拼接物镜温度控制装置，所述拼接物镜包括至少一组物镜，所述一组物镜包括相互光路连接的上物镜和下物镜，其特征在于，所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上进水管、上出水管、下进水管、下出水管、循环水控制单元、上温度传感器、下温度传感器以及至少一个下加热器；其中，所述上物镜和下物镜均设置于所述水套内，所述上进水管和上出水管设置于所述上物镜处并通过所述水套连通，所述下进水管和下出水管设置于所述下物镜处并通过所述水套连通，所述循环水控制单元与所述上进水管、上出水管、下进水管和下出水管连通，所述上温度传感器邻近所述上物镜，所述下温度传感器所述邻近所述下物镜，至少一个所述下加热器设置于所述下进水管上。