一种光刻机物镜冷却装置

摘要：

本发明涉及一种光刻机物镜冷却装置，包括水套和恒温水箱，所述水套上开设有若干个与物镜镜筒匹配的腔体，所述水套上各腔体的周围均匀开设有若干个沿所述腔体的轴向设置的孔，所述孔内设置有与所述恒温水箱连通的冷却水管，每两个相邻的冷却水管底部连通。本发明中，若干个腔体可同时安装若干个物镜镜筒，对多个物镜进行冷却，提高了工作效率；冷却水管置于水套内部，不仅隔绝了环境温度对冷却水管温度的影响，且水套与冷却水管四周全接触，增大了导热面积，提高了导热速度；采用两个平行的冷却水管，仅在底部以U形管连通，从而减小了冷却水管的压阻，提高了各物镜温度的均值均匀性，水套为整体性结构，大体积使得热容增大，减小了温度的波动性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201511025846.1

申请日期：2015-12-30

公开/公告号：CN106933048A

公开/公告日：2017-07-07

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:罗兵

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种光刻机物镜冷却装置，包括水套和恒温水箱，其特征在于，所述水套上开设有若干个与物镜镜筒匹配的腔体，各所述腔体的周围均匀开设有若干个沿所述腔体的轴向设置的孔，所述孔内设置有与所述恒温水箱连通的冷却水管，每两个相邻的所述冷却水管底部连通，连通的两个所述冷却水管的其中一个作为进水管，另一个作为出水管。