一种调焦调平系统及其调焦调平方法

摘要：

本发明公开了一种调焦调平系统及其调焦调平方法，该调焦调平系统包括发射部分和接收部分，发射部分包括光源、衍射光发生及调制组件和第一反射镜组，接收部分包括第二反射镜组、光线汇聚镜组、光电传感器及信号处理单元，光源发出的照明光束经衍射光发生及调制组件产生出射方向不同的测量光束和参考光束，测量光束经第一反射镜组后经被测对象反射，并通过第二反射镜组后投射至光线汇聚镜组上，参考光束依次经第一、第二反射镜组后投射至光线汇聚镜组上，两束光线发生干涉并产生干涉条纹，光电传感器及信号处理单元根据干涉条纹获得被测对象表面高度的变化值进行调焦调平。本发明采用相移干涉技术，提高了系统的测量精度以及系统的稳定性、可靠性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201511024299.5

申请日期：2015-12-30

公开/公告号：CN106933070A

公开/公告日：2017-07-07

主分类号：G03F9/00(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司%上海微高精密机械工程有限公司

发明/设计人:王晓庆;王福亮

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种调焦调平系统，包括发射部分和接收部分，其特征在于，所述发射部分包括光源、衍射光发生及调制组件和第一反射镜组，所述接收部分包括第二反射镜组、光线汇聚镜组、光电传感器及信号处理单元，所述光源发出的照明光束经过所述衍射光发生及调制组件后产生出射方向不同的测量光束和参考光束，所述测量光束经过所述第一反射镜组后经过被测对象反射，并通过所述第二反射镜组后投射至所述光线汇聚镜组上，所述参考光束依次经过所述第一反射镜组、第二反射镜组后投射至所述光线汇聚镜组上，两束光线发生干涉并产生干涉条纹，所述光电传感器及信号处理单元根据所述干涉条纹获得所述被测对象表面高度的变化值。