平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法

摘要：

一种平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法，属于超精密加工技术领域。为了达到现有平面电机驱动的沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转方向的三自由度精密运动平台的运动性能要求，满足现有运动平台上采用的气浮轴承的使用需要，所述加工方法为：首先在清洁好的永磁体阵列的上表面和各永磁体之间各缝隙内涂上具有高渗透性的环氧树脂胶，经磨削后，再将一块花岗岩薄板粘接在永磁体阵列上，再次进行磨削及人工研磨，得到所需的气浮平面。本发明的气浮表面具有自身厚度小，重量轻，制造工艺简单快捷及成本低廉等优点，能够有效满足现有精密运动平台的运动性能要求。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201511001053.6

申请日期：2015-12-28

公开/公告号：CN106919000A

公开/公告日：2017-07-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:清华大学%北京华卓精科科技股份有限公司

发明/设计人:朱煜;张鸣;张利;成荣;杨开明;胡青平;赵彦坡;张庆艺;田丽;胡海

主申请人地址:100084 北京市海淀区100084信箱82分箱清华大学专利办公室

专利代理机构:北京鸿元知识产权代理有限公司 11327

代理人:邸更岩

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法，其特征在于该方法按如下步骤进行：1)准备好一块带基座的永磁阵列(1)，对该永磁阵列进行清洁并晾干；2)在清洁完毕的永磁阵列的上表面和各永磁体之间各缝隙内涂上具有高渗透性的环氧树脂胶，并固化；3)对步骤2)中涂有环氧树脂胶并固化的永磁体阵列上表面进行磨削粗加工；4)在永磁阵列固化后的环氧树脂胶上表面涂上一层粘接剂，将一块花岗岩薄板放在带基座的永磁阵列(1)上，并前后左右移动以将两者之间的空气尽量赶出去，使粘接胶层固化；5)在步骤4)所述花岗岩薄板上表面再次进行磨削加工，并人工研磨，得到所需气浮平面。