一种基板交接装置及交接方法

摘要：

本发明涉及一种基板交接装置及交接方法，该装置包括气浮台和工作台，气浮台包括：固定气浮单元和升降气浮单元，固定气浮单元包括第一底座、第一水平向驱动轴、固定气浮块、真空吸盘及吸盘升降气缸；升降气浮单元设置于固定气浮单元与工作台之间，包括升降气浮块和第一垂向驱动轴；工作台包括：第二底座、第二水平向驱动轴、第二垂向驱动轴、工作平台及缓冲器。本发明通过增加升降气浮单元，增加了工作台的机械缓冲行程；工作台运动失控时，可利用缓冲器阻止失控运动，工作台距离固定气浮块仍存在一定距离，避免碰撞事故；利用第二垂向驱动轴控制工作平台的升降，确保基板传送过程中，始终从高气浮面向低气浮面运动，提高安全性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510859991.3

申请日期：2015-11-30

公开/公告号：CN106814551A

公开/公告日：2017-06-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:阮冬

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种基板交接装置，其特征在于，包括气浮台和工作台：所述气浮台包括固定气浮单元和升降气浮单元，所述固定气浮单元包括第一底座、第一水平向驱动轴、固定气浮块、真空吸盘以及吸盘升降气缸，所述第一水平向驱动轴和固定气浮块均固定于所述第一底座上，所述吸盘升降气缸安装于所述第一水平向驱动轴上，并由所述第一水平向驱动轴驱动在水平面上沿直线运动，所述真空吸盘固定于所述吸盘升降气缸上，并由所述吸盘升降气缸驱动沿垂向运动；所述升降气浮单元设置于所述固定气浮单元与所述工作台之间，其包括升降气浮块和第一垂向驱动轴，所述升降气浮块固定于所述第一垂向驱动轴上，并由所述第一垂向驱动轴驱动沿垂向运动；所述工作台包括第二底座、第二水平向驱动轴、第二垂向驱动轴、工作平台以及缓冲器，所述第二水平向驱动轴固定于所述第二底座上，所述第二垂向驱动轴安装于所述第二水平向驱动轴上，并由所述第二水平向驱动轴驱动在水平面上沿直线运动；所述工作平台安装于所述第二垂向驱动轴上，并由所述第二垂向驱动轴驱动沿垂向运动；所述缓冲器固定于所述第二垂向驱动轴上，且位于所述工作平台下方。