工件台基板交接装置与预对准方法

摘要：

本发明公开了一种工件台基板交接装置与预对准方法，所述装置包括设置在工件台上的检测反馈装置和气浮导轨装置、安装在气浮导轨装置上的运动基台、安装在运动基台上的支撑台、安装在支撑台上的带有气孔的基板台，气浮导轨装置控制运动基台沿X、Y向移动到基板交接位置，基板台上设置有真空吸盘装置，基板台周边的支撑台上设置有旋转夹紧机构；基板台利用气浮承放基板，真空吸盘装置吸附基板，旋转夹紧机构用于夹紧基板，根据检测反馈装置的检测真空吸盘装置以自身为中心旋转，进而实现基板沿Rz方向旋转，完成基板的交接和预对准。本发明不仅为基板的上板和预对准节省了时间，还采用无接触式的检测反馈装置有效避免了污染和损坏基板。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510859960.8

申请日期：2015-11-30

公开/公告号：CN106814550A

公开/公告日：2017-06-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:杨玉杰;朱岳彬

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种工件台基板交接装置，包括设置在所述工件台上的检测反馈装置和气浮导轨装置、安装在所述气浮导轨装置上的运动基台、安装在所述运动基台上的支撑台、安装在所述支撑台上的带有气孔的基板台，所述气浮导轨装置控制所述运动基台沿X、Y向移动到基板交接位置，其特征在于，所述基板台上设置有真空吸盘装置，所述基板台周边的支撑台上设置有旋转夹紧机构；所述基板台利用气浮承放所述基板，所述真空吸盘装置吸附所述基板台上的基板，所述旋转夹紧机构用于夹紧被所述真空吸盘装置吸附的基板，根据所述检测反馈装置的检测所述真空吸盘装置以自身为中心旋转。