一种阻尼框架结构

摘要：

本发明提供一种阻尼框架结构，在垂直方向上从下至上依次为减振器、吊框、支承柱以及主基板，所述减振器支撑所述吊框，所述支承柱支撑所述主基板，所述支承柱放置在所述吊框上，所述支承柱和所述主基板内部设置有空腔，并在所述空腔内填充有吸振物，所述吸振物吸收所述阻尼框架结构的振动。本发明通过在承载光学测量系统的主基板以及支撑主基板的支承柱内部空腔内填充吸振物，当地基的振动被减振器减缓后，支承柱和主基板内的吸振物能够进一步吸收减少振动，这样位于主基板上的光学测量系统受到的振动被大幅度地减缓，且由于吸振物被填充在主基板与支承柱内部，无需另外占用空间，因此这种阻尼框架结构具有占用空间少、减振作用显著的优点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510859956.1

申请日期：2015-11-30

公开/公告号：CN106814549A

公开/公告日：2017-06-09

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:王保亮;朱岳彬;应国平;廖飞红

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种阻尼框架结构，在垂直方向上从下至上依次为减振器、吊框、支承柱以及主基板，所述减振器支撑所述吊框，所述支承柱支撑所述主基板，所述支承柱放置在所述吊框上，其特征在于，所述支承柱和所述主基板内部设置有空腔，并在所述空腔内填充有吸振物，所述吸振物吸收所述阻尼框架结构的振动。