一种调焦调平装置及调焦调平方法

摘要：

本发明公开了一种调焦调平装置及调焦调平方法，该调焦调平装置包括依光路排列的照明单元、投影单元、探测单元及中继单元，其中照明单元和投影单元设于投影物镜一侧，探测单元和中继单元设于投影物镜另一侧，投影单元包括投影标记板，所述投影标记板上还设有若干光栅，若干所述光栅的光栅格数量和宽度均不同。通过在投影标记板上设置若干光栅参数不同的光栅，使照明单元的出射光经过投影标记板后可以产生具有不同形状的子光斑的测量光束，通过探测单元对不同的子光斑进行探测，最终由中继单元对不同子光斑进行成像，从而得到硅片表面的高度信息，避免因子光斑打在硅片沟槽内丢失时导致检测不能进行或误差增大，大大提高了系统的稳定性和可靠性。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510731070.9

申请日期：2015-10-30

公开/公告号：CN106647174A

公开/公告日：2017-05-10

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:吴卫军;陈飞彪;李欣欣

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种调焦调平装置，包括依光路排列的照明单元、投影单元、探测单元及中继单元，其中所述照明单元和所述投影单元设于投影物镜一侧，所述探测单元和所述中继单元设于所述投影物镜另一侧，所述投影单元包括投影标记板，其特征在于，所述投影标记板上还设有若干光栅，若干所述光栅的光栅格数量和宽度均不同。