光刻失焦的检测方法

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510561068.1

申请日期：2015-09-06

公开/公告号：CN106502055A

公开/公告日：2017-03-15

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:中芯国际集成电路制造（上海）有限公司%中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

发明/设计人:袁立春;王清蕴;杨晓松

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江路18号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31