一种重载基板台的六自由度调整装置

摘要：

本发明公开一种重载基板台的六自由度调整装置，所述基板台设置在所述吊框上，其特征在于，包括：一水平向微调机构，用于实现所述基板台的X、Y和Rz方向调整；一第一垂向微调机构，用于实现所述基板台的Z、Rx和Ry方向调整；所述水平向微调机构包括第一微调结构、第二微调结构和第二垂向微调机构，所述第二垂向微调机构位于所述第二微调机构的下方；所述第一微调机构与所述基板台连接，所述第二微调机构位于所述吊框的下方。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510451390.9

申请日期：2015-07-29

公开/公告号：CN106406032A

公开/公告日：2017-02-15

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:施胜男;高玉英

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种重载基板台的六自由度调整装置，所述基板台设置在所述吊框上，其特征在于，包括：一水平向微调机构，用于实现所述基板台的X、Y和Rz方向调整；一第一垂向微调机构，用于实现所述基板台的Z、Rx和Ry方向调整；所述水平向微调机构包括第一微调结构、第二微调结构和第二垂向微调机构，所述第二垂向微调机构位于所述第二微调机构的下方；所述第一微调机构与所述基板台连接，所述第二微调机构位于所述吊框的下方。