一种焦面探测单元以及自动调焦的对准系统

摘要：

本发明提供的位于光刻机中的对准系统中的焦面探测单元，通过视场光阑、调焦透镜与探测器顺序排列放置，将透过视场光阑的入射光束通过调焦透镜折射到探测器上，由探测器显示出入射光束的投射在探测器上的坐标，并加以计算。因此这种焦面探测单元能够及时、简便地计算出入射光束的离焦量。本发明提供的自动调焦对准系统中的分光组件旁设置焦面探测单元，这样掩模或者工件上反射或者折射的光线进入焦面探测单元后，由探测器计算出离焦量，并输送至控制单元，由控制单元控制工件台的移动，直至焦面探测单元计算出的离焦量为0，成像传感器上呈现出清晰的对准标记像，完成了自动调焦。因此这种自动调焦对准系统具有及时、准确、操作简单的特点。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510415979.3

申请日期：2015-07-15

公开/公告号：CN106647194A

公开/公告日：2017-05-10

主分类号：G03F9/02(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:黄栋梁;于大维

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31