一种基于图像处理技术的调焦调平装置及方法

摘要：

本发明涉及一种基于图像处理技术的调焦调平装置及方法，该装置包括从上至下依次排列的掩模、投影物镜、被测工件以及承载所述被测工件的工件台，还包括沿光路传播方向依次排列的光源、第一反射镜、投影狭缝、投影镜组、第二反射镜、成像镜组、第三反射镜、第四反射镜、成像透镜、探测狭缝以及光电探测器，所述投影狭缝与被测工件之间还设有可旋转的玻璃平板。本发明利用玻璃平板转动来水平移动被测工件表面的测量光斑位置，寻找可完整或部分测量出被测区域高度测量值的替代位置，从而推算出被测区域高度测量值。本发明可有效提高调焦调平装置的测量精度与工艺适应性，进而提高成品良率。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510270167.4

申请日期：2015-05-24

公开/公告号：CN106292197A

公开/公告日：2017-01-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:魏礼俊;陈飞彪

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种基于图像处理技术的调焦调平装置，包括从上至下依次排列的掩模、投影物镜、被测工件以及承载所述被测工件的工件台，还包括沿光路传播方向依次排列的光源、第一反射镜、投影狭缝、投影镜组、第二反射镜、成像镜组、第三反射镜、第四反射镜、成像透镜、探测狭缝以及光电探测器，其特征在于，所述投影狭缝与被测工件之间还设有光路偏转装置。