应用于运动台的力矩补偿装置及方法

摘要：

本发明公开了一种应用于运动台的力矩补偿装置及方法，该应用于工件台的力矩补偿装置包括：真空气浮块，设置在运动台的X向运动模块和Y向运动模块上；真空泵，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生负压；风机，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生正压；以及控制器，控制所述真空泵和风机动作。本发明通过将真空气浮块安装在运动台上，使其一端产生正压，一端产生负压，两者合成力矩抵消运动台运动过程中产生的力矩，保证气膜厚度，进而补偿运动台的偏心力矩和惯性力矩，避免运动台重心变化导致的气膜挤压。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510268937.1

申请日期：2015-05-24

公开/公告号：CN106292190A

公开/公告日：2017-01-04

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:钟亮;季采云;徐士龙;胡月

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种应用于运动台的力矩补偿装置，其特征在于，包括：真空气浮块，设置在运动台的X向运动模块和Y向运动模块上；真空泵，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生负压；风机，与所述真空气浮块连通，用于在所述真空气浮块中产生正压；以及控制器，控制所述真空泵和风机动作。