光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法
一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器并具有XYZ三维扫描能力和精确定位能力的工件台。利用该装置实时原位检测光刻机投影物镜的波像差，提高了波像差检测速度和空间分辨率。
发明专利
CN201510237227.2
2015-05-12
CN106324995A
2017-01-11
G03F7/20(2006.01)I
中国科学院上海光学精密机械研究所
李杰;唐锋;王向朝;吴飞斌;张国先;郭福东
201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱
上海新天专利代理有限公司 31213
张泽纯%张宁展
上海;31
一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置，其特征在于，该装置包括用于产生激光光束的光源(1)、照明系统(2)、物面光栅板(3)、能承载物面光栅板(3)并拥有精确定位能力的掩模台(4)、光刻机投影物镜(5)、波像差传感器(6)、能承载波像差传感器(6)并具有XYZ三维扫描能力和精确定位能力的工件台(7)和计算机(8)；上述各部件的连接关系如下：沿光束传播方向依次是所述的照明系统(2)、物面光栅板(3)、光刻机投影物镜(5)和波像差传感器(6)；所述的物面光栅板(3)置于掩模台(4)上，所述的波像差传感器(6)置于工件台(7)上，所述的波像差传感器(6)与计算机(8)相连；所述的物面光栅板(3)由两个周期为P<sub>o</sub>且占空比为50％的物面光栅组成，两个物面光栅分别是光栅线沿y方向的第一光栅(301)和光栅线沿x方向的第二光栅(302)；所述的波像差传感器(6)包括沿光束传播方向依次放置的像面光栅(601)、小孔阵列(602)和二维光电传感器(603)；所述的第一光栅(301)和第二光栅(302)的周期P<sub>o</sub>与所述的像面光栅(601)的周期P<sub>i</sub>满足如下关系；P<sub>o</sub>＝P<sub>i</sub>·M其中，M为光刻机投影物镜的成像放大倍数。