一种用于降温炉体的进排风系统

摘要：

本发明涉及半导体工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于降温炉体的进排风系统，该进排风系统包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。通过所述进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度，可精确控制进入所述降温炉体内的低温的冷却介质，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关，可精确控制排出所述降温炉体的高温冷却介质，从而保证降温炉体的降温性能，进而保证半导体热处理工艺的质量。

专利类型：发明专利

申请/专利号：CN201510060784.1

申请日期：2015-02-05

公开/公告号：CN104634115A

公开/公告日：2015-05-20

主分类号：F27D9/00(2006.01)I

申请/专利权人:北京七星华创电子股份有限公司

发明/设计人:孙少东;侯建明;周厉颖

主申请人地址:100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号

专利代理机构:上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人:陶金龙%张磊

国别省市代码:北京;11

权利要求：

一种用于降温炉体的进排风系统，其特征在于，包括进风风路和排风风路，所述进风风路上设有进风阀门，通过进风阀门开度组件调整所述进风阀门的开度；所述排风风路上设有排风阀门，通过排风阀门驱动装置驱动所述排风阀门的开关。