一种烤炉体装置
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种烤炉体装置，箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于主路上，主路上设有供电连接端子，支路的端部分别设有一个输出接线端子，输出接线端子用于连接炉体的接入接线端子，支路上均设有功率控制器，各功率控制器同时连接功率控制单元，功率控制单元用于向各支路上的功率控制器发送相同或不同的控制信号。该烤炉体装置配置多个输出接线端子，打破了传统装置单个输出接线端子的特点，可以达到对同台炉体分多段烘烤或者对多台多型号炉体同时烘烤的目的，使得工作效率和应用范围都得到显著的提高和拓展。
发明专利
CN201510057014.1
2015-02-04
CN104634111A
2015-05-20
F27D1/00(2006.01)I
北京七星华创电子股份有限公司
孙少东;张乾;周厉颖
100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
陶金龙%张磊
北京;11
一种烤炉体装置，包括用于烘烤炉体的箱体，其特征在于，所述箱体的一侧连接主路，其另一侧设有至少两个支路，各所述支路并联于所述主路上，所述主路上设有供电连接端子，所述支路的端部分别设有一个输出接线端子，所述输出接线端子用于连接炉体的接入接线端子，所述支路上均设有功率控制器，各所述功率控制器同时连接所述功率控制单元，所述功率控制单元用于向各支路上的功率控制器发送相同或不同的控制信号。