一种氮气烧成炉炉膛
本实用新型涉及氮气高温烧成体系,特别是一种氮气烧成炉炉膛。它包括直径为5cm的不锈钢管状炉膛,该不锈钢管状炉膛的进口端为法兰连接,该不锈钢管状炉膛的进口端连接直径为10mm的安装有第一阀门的不锈钢供氮管,该不锈钢管状炉膛上还连接安装有第二阀门的排空气管道。它具有排空氮气更容易、氮气炉膛内扩散更快、使用寿命更长等优点,同时可减少隔热层以降低了产品成本。
实用新型
CN201420441000.0
2014-08-07
CN204115459U
2015-01-21
F27B5/06(2006.01)I
上海大洲电子材料有限公司
郭强
201108 上海市闵行区莘庄工业区金都路3405号
上海新天专利代理有限公司 31213
王敏杰
上海;31
一种氮气烧成炉炉膛,其特征在于:它包括直径为5cm的不锈钢管状炉膛(1),该不锈钢管状炉膛(1)的进口端为法兰(2)连接,该不锈钢管状炉膛(1)的进口端连接直径为10mm的安装有第一阀门(41)的不锈钢供氮管(3),该不锈钢管状炉膛(1)上还连接安装有第二阀门(42)的排空气管道(5)。