一种声表面波谐振器

摘要：

本实用新型公开了一种声表面波谐振器，包括一个叉指换能器、设置于叉指换能器两侧的反射栅以及谐振空腔；所述谐振空腔位于叉指换能器与反射栅之间，或者位于叉指换能器的中部。本实用新型的双模SAW谐振器的结构在根本上有异于传统的双模，即两个单模设计放在一个芯片上的SAW谐振器的设计，本实用新型是一个设计，而不是在一个芯片上的两个独立的设计，因此，本实用新型的谐振器不容易受到制造过程中差异的影响，同时芯片尺寸是传统的两个单模谐振器设计的50％左右，因此芯片成本更低。本实用新型的单端口双模SAW谐振器作为差分测量方式的无线无源传感器有广泛的应用，如温度传感器，压力传感器，加速度/振动传感器，应变传感器等等。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420420830.5

申请日期：2014-07-28

公开/公告号：CN204013438U

公开/公告日：2014-12-10

主分类号：H03H9/25(2006.01)I

申请/专利权人:常州智梭传感科技有限公司

发明/设计人:高翔

主申请人地址:213164 江苏省常州市常武中路801号常州科教城现代工业中心8号楼2楼

专利代理机构:北京中济纬天专利代理有限公司 11429

代理人:徐琳淞

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种声表面波谐振器，其特征在于：包括一个叉指换能器(1)、设置于叉指换能器(1)两侧的反射栅(2)以及谐振空腔(3)；所述谐振空腔(3)位于叉指换能器(1)与反射栅(2)之间，或者位于叉指换能器(1)的中部；叉指换能器(1)电极的周期Λ_IDT与反射栅(2)电极的周期Λ_REF之间的关系为Λ_IDT≠Λ_REF；0.5<N_IDT|rs|<0.6，|rs|为叉指换能器(1)每个电极的反射系数。