一种温度控制曝光机

摘要：

本实用新型涉及一种温度控制曝光机。现有技术易导致曝光质量无法控制，造成产品缺陷。本实用新型包括：曝光平台，用以放置待曝光金属片材；发光部件，通过支撑结构设置于曝光平台上方；复数个光强传感器，均布于曝光平台上；控制器，分别连接光强传感器及发光部件，用以根据光强传感器的感应结果控制发光部件的发光强度；温度传感器，设置于曝光平台上,并与控制器连接；冷却装置，匹配于曝光平台，并与控制器连接。本实用新型根据待曝光金属片材的光环境调整发光部件的发光强度；光强传感器的感光部通过待曝光金属片材上的预制通孔进行感应，获得的感应结果更精确；当温度过高时冷却装置工作，进行降温，保持曝光区域处于合理的温度。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420373074.5

申请日期：2014-07-07

公开/公告号：CN203941383U

公开/公告日：2014-11-12

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:宁波东盛集成电路元件有限公司

发明/设计人:王满根

主申请人地址:315806 浙江省宁波市北仑区大港三路51号

专利代理机构:杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人:杜军

国别省市代码:浙江;33

权利要求：

 一种温度控制曝光机，用于金属片材曝光，其特征在于，包括：曝光平台，用以放置待曝光金属片材；发光部件，通过支撑结构设置于所述曝光平台上方；复数个光强传感器，均布于所述曝光平台上；控制器，分别连接所述光强传感器及所述发光部件，用以根据所述光强传感器的感应结果控制所述发光部件的发光强度；温度传感器，设置于曝光平台上,并与所述控制器连接；冷却装置，匹配于所述曝光平台，并与所述控制器连接。