一种均匀布光的曝光机

摘要：

本实用新型涉及一种均匀布光的曝光机。现有曝光机会导致光照强度不均匀，导致产品缺陷。本实用新型包括：曝光平台，用以放置待曝光金属片材；复数个发光部件，通过支撑结构均布于所述曝光平台上方；复数个光强传感器，均布于所述曝光平台上；控制器，分别连接复数个光强传感器及复数个发光部件，用以根据所述光强传感器的感应结果分别独立的控制复数个发光部件的发光强度。本实用新型根据待曝光金属片材的光环境调整发光部件的发光强度；光强传感器的感光部通过待曝光金属片材上的预制通孔进行感应，获得的感应结果更精确；独立的控制均布于曝光平台上方的多个发光部件的发光强度，使多个发光部件发出的光均匀的照射曝光平台。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420370583.2

申请日期：2014-07-07

公开/公告号：CN203941382U

公开/公告日：2014-11-12

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:宁波东盛集成电路元件有限公司

发明/设计人:王满根

主申请人地址:315806 浙江省宁波市北仑区大港三路51号

专利代理机构:杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人:杜军

国别省市代码:浙江;33

权利要求：

 一种均匀布光的曝光机，用于金属片材曝光，其特征在于，包括：曝光平台，用以放置待曝光金属片材；复数个发光部件，通过支撑结构均布于所述曝光平台上方；复数个光强传感器，均布于所述曝光平台上；控制器，分别连接复数个光强传感器及复数个发光部件，用以根据所述光强传感器的感应结果分别独立的控制复数个发光部件的发光强度。