一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统

摘要：

一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，包括用于盛装显影液的集液槽、通过管道与所述集液槽连通的喷淋泵和通过管道与所述喷淋泵连通的喷淋室，还包括用于回收喷淋后的回流液并消去回收时产生的气泡的除泡装置，所述除泡装置包括与所述集液槽具有公共壁的筒体，所述筒体包括与所述喷淋室连通的回流口、设于所述公共壁底部的交换口和用于除去气泡及杂质的逐级过滤机构。本实用新型的技术优点在于所述循环用液系统结构紧凑、使用方便，在显影液喷淋时及喷淋后均能够将产生的气泡消去而降至到最少状态，避免气泡对工作质量及环境的影响，提高工作效率，优化产品质量，减少污染。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420340985.8

申请日期：2014-06-25

公开/公告号：CN204009357U

公开/公告日：2014-12-10

主分类号：G03F7/30(2006.01)I

申请/专利权人:浙江金指科技有限公司

发明/设计人:王国平

主申请人地址:313100 浙江省湖州市长兴县经济开发区经三路588号

专利代理机构:湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232

代理人:赵卫康

国别省市代码:浙江;33

权利要求：

一种用于光电显示屏显影加工阶段的循环用液系统，包括用于盛装显影液的集液槽（1）、通过管道与所述集液槽（1）连通的喷淋泵（2）和通过管道与所述喷淋泵（2）连通的喷淋室（3），其特征在于：还包括用于回收喷淋后的回流液并消去回收时产生的气泡的除泡装置，所述除泡装置包括与所述集液槽（1）具有公共壁（5）的筒体（4），所述筒体（4）包括设于所述筒体（4）上部的与所述喷淋室（3）连通的回流口、设于所述公共壁（5）底部的交换口（51）和用于除去气泡及杂质的逐级过滤机构。