一种玻璃钝化器件光刻机的自动对位装置

摘要：

本实用新型提供一种玻璃钝化器件光刻机的自动对位装置，包括光刻机模板和光源，所述光刻机模板，模板的一次相模对应点，设置为二个正方形对应点，二次相模对应点右移一位后设置为小圆点对应点，三次相模对应点，设置为小圆点对应点；所述光源，设置为同轴的二个红外光源，即在中心光源的外围，有辅助光源。具有提高了对位精度，又大大提高了生产效率，通用性好的优点。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420279753.6

申请日期：2014-05-29

公开/公告号：CN203909469U

公开/公告日：2014-10-29

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海旭福电子有限公司%敦南微电子（无锡）有限公司%敦南科技（无锡）有限公司

发明/设计人:孙镇江;叶海峰;张继稳;吴爱国;魏敦林;郝昌玲

主申请人地址:201619 上海市松江区洞泾镇振业路6号

专利代理机构:上海东亚专利商标代理有限公司 31208

代理人:罗习群

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种玻璃钝化器件光刻机的自动对位装置，包括光刻机模板和光源，其特征在于，所述光刻机模板，模板的一次相模对应点，设置为二个正方形对应点，二次相模对应点右移一位后设置为小圆点对应点，三次相模对应点，设置为小圆点对应点；所述光源，设置为同轴的二个红外光源，即在中心光源的外围，有辅助光源。