UV LED光源结构和平行光曝光机

摘要：

本实用新型涉及曝光机的技术领域，公开了UV LED光源结构和平行光曝光机，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，沿UV LED光源结构的光路方向，UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜依序布置；UV LED中设有UV LED灯珠，UV LED灯头与复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节UV LED灯头与复眼透镜模组之间距离的调节机构连接。UV LED灯头放置在复眼透镜模组前方，利用复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，形成了用于曝光的平行光；将该UV LED光源结构运用在现有的平行光曝光机中，不需要客户更新换代设备，不需要大规模改造设备，花最少的代价，即可以获得低温、节能、环保、安全的采用UV LED光源结构的曝光机，避免耽误生产，并且大大降低成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420273771.3

申请日期：2014-05-26

公开/公告号：CN203870394U

公开/公告日：2014-10-08

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:张河生

发明/设计人:张河生;唐威;张春玲

主申请人地址:518000 广东省深圳市南山区沙河西路深圳湾锦缎之滨5栋9C

专利代理机构:深圳中一专利商标事务所 44237

代理人:张全文

国别省市代码:广东;44

权利要求：

UV LED光源结构，其特征在于，包括UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜，沿所述UV LED光源结构的光路方向，所述UV LED灯头、复眼透镜模组、平面镜以及球面镜依序布置；所述UV LED中设有用于出射紫外光线的UV LED灯珠，所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组相邻平行布置，两者之间通过可调节所述UV LED灯头与所述复眼透镜模组之间距离的调节机构连接。