一种新型高速数字扫描直写光刻装置

摘要：

本实用新型公开了一种高速数字扫描直写光刻装置，包括光源，光学照明系统，可编程图形发生器，投影光学系统，高速精密移动平台等五部分。曝光光束从光源发出，进入光学照明系统，准直成平行均匀的面光源投影至可编程图形发生器，而此时可编程图形发生器上的图形信息伴随光线进入投影光学系统，曝光光线穿过投影光学系统，最后投影成像在高速精密移动平台的基底上。本实用新型可以省去掩膜版或菲林版的加工工序，并能数十倍的提升可编辑图形发生器的刷新频率，从而提高产品的加工速率，改善了产品加工的良率。制作工艺简单，降低了产品的生产成本。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420232691.3

申请日期：2014-05-08

公开/公告号：CN203825365U

公开/公告日：2014-09-10

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:苏州微影光电科技有限公司

发明/设计人:李平贵;张国龙;马迪

主申请人地址:215636 江苏省苏州市张家港市大新镇海坝路苏州微影光电科技有限公司

专利代理机构:张家港市高松专利事务所(普通合伙) 32209

代理人:陈晓岷

国别省市代码:江苏;32

权利要求：

一种新型高速数字扫描直写光刻装置，包含有光源、光学照明系统、可编程图形发生器、投影光学系统、高速精密移动平台，曝光光线从光源发出，经光学照明系统后投影至可编程的图形发生器，可编程发生器上预设的图形信息随着曝光光线进入投影光学系统，最后投影在高速精密移动平台的基底上，其特征在于：所述光源、所述光学照明系统和所述图形发生器同轴。