一种半自动双面曝光装置
本实用新型公开了一种半自动双面曝光装置，它包括监控装置、曝光箱（2）和装载箱（3），上层装载框架（1）和下层装载框架（19）均包括上框架（17）和下框架（18），下框架（18）内部设置有抽真空通道、抽真空气孔（11）和抽真空接头（12），监控装置包括光电传感器A、光电传感器B、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器。本实用新型的有益效果是：提高了曝光效率，方便装载，上层装载框架和下层装载框架交替进行曝光，同样提高了效率；确保真空气压数值，从而保证曝光质量，通过控制器自动控制装载框架的曝光操作和曝光时间，节省了人工，提高了工效。
实用新型
CN201420218769.6
2014-04-30
CN203825363U
2014-09-10
G03F7/20(2006.01)I
遂宁市维海电子科技有限公司
刘维军;郭宝贵
629000 四川省遂宁市创新工业园区明星大道28号
成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218
袁英
四川;51
一种半自动双面曝光装置，其特征在于：它包括监控装置、上层装载框架（1）、下层装载框架（19）、以及依次连接为一体的曝光箱（2）和装载箱（3），曝光箱（2）和装载箱（3）上均设置有用于安装上层装载框架（1）的上层水平导轨，曝光箱（2）和装载箱（3）上均设置有用于安装下层装载框架（19）的下层水平导轨，曝光箱（2）位于上层水平导轨的上侧和下层水平导轨的下侧均设置有曝光光源（6），所述的上层装载框架（1）和下层装载框架（19）结构相同，上层装载框架（1）和下层装载框架（19）均包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）和下框架（18）通过设置于后侧面上的合页（7）连接为一体，上框架（17）的底面上设置有上透光板（8），下框架（18）的顶面上设置有容置上框架（17）的凹槽（9），该凹槽（9）的底面上设置有下透光板（10），下框架（18）内部设置有抽真空通道，下框架（18）位于上透光板（8）和下透光板（10）之间的部分上设置有抽真空气孔（11），下框架（18）上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头（12），抽真空接头（12）通过抽真空通道与抽真空气孔（11）连通，所述的下框架（18）的左右两侧均设置有水平凸棱（13），上层装载框架（1）的水平凸棱（13）滑动安装于曝光箱（2）和装载箱（3）的上层水平导轨内，下层装载框架（19）的水平凸棱（13）滑动安装于曝光箱（2）和装载箱（3）的上层水平导轨内，曝光箱（2）上还安装有驱动电机A（22）和驱动电机B（23），驱动电机A（22）的电机轴连接有与上层水平导轨平行的丝杆A（24），上层装载框架（1）的下框架（18）的底部设置有螺纹孔，丝杆A（24）通过螺纹与上层装载框架（1）的该螺纹孔连接，驱动电机B（23）的电机轴连接有与下层水平导轨平行的丝杆B（25），下层装载框架（19）的下框架（18）的底部设置有螺纹孔，丝杆B（25）通过螺纹与下层装载框架（19）的该螺纹孔连接，所述的监控装置包括光电传感器A（26）、光电传感器B、计时器、蜂鸣器、真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头（12）通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架（18）的抽真空通道内，光电传感器A（26）设置于上层装载框架（1）的凹槽（9）的侧壁上，用于监测上层装载框架（1）的上框架（17）是否扣合于下框架（18）的凹槽（9）内，光电传感器B设置于下层装载框架（19）的凹槽（9）的侧壁上，用于监测下层装载框架（19）的上框架（17）是否扣合于下框架（18）的凹槽（9）内，光电传感器A（26）、光电传感器B、气压传感器、计时器、蜂鸣器、真空泵、电磁阀、驱动电机A（22）和驱动电机B（23）分别与控制器电连接。