一种具有真空气压监控功能的FPC板曝光装置

摘要：

本实用新型公开了一种具有真空气压监控功能的FPC板曝光装置，它包括真空气压监控装置、上层装载框架（1）、下层装载框架（19）、曝光箱（2）和装载箱（3），上层装载框架（1）和下层装载框架（19）均包括上框架（17）和下框架（18），下框架（18）设置有抽真空通道、抽真空气孔（11）和抽真空接头（12）。本实用新型的有益效果是：解决了菲林与FPC板对位速度慢的问题，提高了生产效率；两个装载框架交替进行曝光，节省了取、装料操作对曝光效率的影响；能够准确的检测下透光板和上透光板之间的真空气压数据，确保真空气压数值，从而保证曝光质量。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420218764.3

申请日期：2014-04-30

公开/公告号：CN203930326U

公开/公告日：2014-11-05

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:遂宁市维海电子科技有限公司

发明/设计人:刘维军;郭宝贵

主申请人地址:629000 四川省遂宁市遂宁市创新工业园区明星大道28号

专利代理机构:成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218

代理人:袁英

国别省市代码:四川;51

权利要求：

一种具有真空气压监控功能的FPC板曝光装置，其特征在于：它包括真空气压监控装置、上层装载框架（1）、下层装载框架（19）、以及依次连接为一体的曝光箱（2）和装载箱（3），曝光箱（2）和装载箱（3）上均设置有用于安装上层装载框架（1）的上层水平导轨，曝光箱（2）和装载箱（3）上均设置有用于安装下层装载框架（19）的下层水平导轨，曝光箱（2）位于上层水平导轨的上侧和下层水平导轨的下侧均设置有曝光光源（6），所述的上层装载框架（1）和下层装载框架（19）结构相同，上层装载框架（1）和下层装载框架（19）均包括上框架（17）和下框架（18），上框架（17）和下框架（18）通过设置于后侧面上的合页（7）连接为一体，上框架（17）的底面上设置有上透光板（8），下框架（18）的顶面上设置有容置上框架（17）的凹槽（9），该凹槽（9）的底面上设置有下透光板（10），所述的下透光板（10）的上表面上设置有四个定位柱（22），底面菲林（23）固定安装于定位柱（22）上，下框架（18）内部设置有抽真空通道，下框架（18）位于上透光板（8）和下透光板（10）之间的部分上设置有抽真空气孔（11），下框架（18）上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头（12），抽真空接头（12）通过抽真空通道与抽真空气孔（11）连通，所述的下框架（18）的左右两侧均设置有水平凸棱（13），上层装载框架（1）的水平凸棱（13）滑动安装于曝光箱（2）和装载箱（3）的上层水平导轨内，下层装载框架（19）的水平凸棱（13）滑动安装于曝光箱（2）和装载箱（3）的上层水平导轨内，所述的真空气压监控装置包括真空泵、气压传感器和控制器，抽真空接头（12）通过气路与真空泵吸气口相连，气路上设置有控制气路通断的电磁阀，气压传感器安装于下框架（18）的抽真空通道内，气压传感器与控制器的输入端连接，真空泵和电磁阀分别与控制器的输出端连接。