一种版盒加载卸载装置

摘要：

本实用新型提供版盒加载卸载装置，包括：版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口；其中，版盒加载卸载单元运送版盒、由取放版机械手交接，将版盒放置于版库，版库承载版盒，一掩模版放置于版盒中；人工加载窗口与版盒加载卸载单元交互；版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在安装框架上，并放置于所述防护框架内。通过运动轴将版盒送到特定位置处，减少了取放版机械手控制的复杂性下降；通过掩膜存在感应器来判断掩模及版盒的物料信息及通过LED指示灯更直观的反应信息，避免了物料信息混乱的局面；通过可升降运动轴，配合特定加载卸载版盒流程，在设计中更注重了人机工程学。

专利类型：实用新型

申请/专利号：CN201420179905.5

申请日期：2014-04-15

公开/公告号：CN203838474U

公开/公告日：2014-09-17

主分类号：G03F7/20(2006.01)I

申请/专利权人:上海微电子装备有限公司

发明/设计人:孙鹤源;王长刚

主申请人地址:201203 上海市浦东新区张东路1525号

专利代理机构:上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人:屈蘅%李时云

国别省市代码:上海;31

权利要求：

一种版盒加载卸载装置，其特征在于，包括：版盒、版盒加载卸载单元、版库、取放版机械手、安装框架、防护框架、人工加载窗口；其中，所述版盒加载卸载单元运送所述版盒，由所述取放版机械手交接，将所述版盒放置于所述版库，所述版库承载版盒，一掩模版放置于所述版盒中；所述人工加载窗口与所述版盒加载卸载单元交互；所述版库、版盒加载卸载单元和取放版机械手均固定安装在所述安装框架上，并放置于所述防护框架内。